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數字式四探針測試儀

SZT-2000型數字式四探針測試儀是根據四探針測

試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以

測量棒狀、塊狀半導體材料的電阻率和半導體擴散

層的薄層電阻進行測量，可以從10-6--105Ω—cm全

量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電

阻，是硅材料質量監(jiān)測的必需儀器。

  • 產品型號：SZT-2000
  • 廠商性質：經銷商
  • 更新時間：2018-10-10
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產品詳情

 數字式四探針測試儀 


型號：SZT-2000
 
儀器資料：
 
SZT-2000型數字式四探針測試儀是根據四探針測
 
試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以
 
測量棒狀、塊狀半導體材料的電阻率和半導體擴散
 
層的薄層電阻進行測量，可以從10-6--105Ω—cm全
 
量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電
 
阻，是硅材料質量監(jiān)測的必需儀器。
 
儀器為臺式結構，分為電氣箱、測試架兩大部分，
 
用戶可以根據測試需要安放在一般工作臺或者
 
工作臺上，測試架由探頭及壓力傳動機構、樣品架
 
組成，耐磨和使用壽命長的特點。探頭內設有彈簧
 
壓力裝置，壓力從0—2Kg連續(xù)可調，測試架設有手
 
動和電動兩種裝置供用戶選購。
 
儀器電氣箱主要由高靈敏的直流數字電壓表和高穩(wěn)
 
定的恒流源組成，測量結果由數字直接顯示，儀器
 
有自校量程，可以方便地對儀器的電氣性能進行校
 
驗。
 
儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、測量
 
范圍廣、結構緊湊、使用方便等特點，儀器適用于
 
半導體材料廠、器件廠、科學研究部門、高等院
 
校，對半導體材料的電阻性能測試及工藝檢測。
 
儀器主要技術指標：
 
1．范圍：電阻率10-4—103Ω—cm，可擴展至105
 
Ω—cm，分辯率為10-6Ω—cm
 
方塊電阻10-3—103Ω/□
 
電阻10-6—105Ω
 
2．可測半導體尺寸：直徑Φ15—150mm
 
3．測量方式：軸向、斷面均可（手動測試架）
 
4．數字電壓表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、
 
200mV、2V
 
（2）測量*.2mV檔±（0.3%讀數+8字）
 
2mV檔以上±（0.3%讀數+2字）
 
（3）輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω
 
20mV檔以上>108Ω
 
（4）顯示31/2位數字顯示，0—1999
 
具有極性和過載自動顯示，小數點、單位自動顯示
 
5．恒流源：（1）電流輸出：直流電流0—100mA
 
連續(xù)可調，由交流電源供給
 
（2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
 
五檔
 
（3）電流誤差：±（0.3%讀數+2字）
 
6．四探針測試探頭（1）探頭間距：1mm（2）
 
探針機械游率：±0.3%
 
（3）探針：Φ0.5mm（4）壓
 
力：可調
 
7.測試架：
 
（1）手動測試架：探頭上升及下降由手動操
 
作，可以用作軸向和斷面的單晶棒和硅片測試。
 
（2）電動測試架：探頭的上升和下降由電動操
 
作，設有自動控制器控制，探頭上升時間1S—99S
 
可調，探頭下降時間1S—99S可調，壓力恒定可調
 
（由砝碼來設定）同時設有腳踏控制裝置由腳踏開
 
關控制探頭上下運動。
 
8.電流：220V±10%50HZ或60HZ：功率消耗
 
<35W
 
9．外形尺寸：電氣箱130×110×400mm
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